半導体・各素材向けウェーハ製造装置

コマツNTCのテクノロジー

高精度を生み出すスピンドルAssyやマシン剛性は、24時間稼働である自動車生産ラインにて培われています。また、独自のワイヤ走行機構やテンション制御により、高精度かつ高生産に寄与します。

・テンションコントロール技術
・温度コントロール技術

・構造解析（剛性・熱変位）

・ダイヤモンドワイヤの採用によるワイヤ細線化で材料ロスを削減

製品名	最大ワーク寸法 (直径×長さ×ワーク本数) mm	加工方式	機械サイズ（幅×奥行×高さ）mm
MWM442DM	Φ150 x L300 x 2本 (標準仕様) Φ100 x L300 x 3本 (オプション) Φ200 x L300 x 1本 (オプション)	スラリ	1,800 x 2,650 x 2,615
MWM3050nQ	Φ300 x L450 x 1本	スラリ	2,000 x 3,550 x 3,500
ND200	Φ200 x L700 x 1本 (標準仕様) Φ200 x L400 x 1本 (ゴニオ機能搭載)	ダイヤモンドワイヤ	2,250 x 3,955 x 3,070
ND660	Φ660 x L500 x 1本	ダイヤモンドワイヤ	2,400 x 4,700 x 3,400
MWM11411	1,100 x 1,000 x L350 x 1本	スラリ	5,000 x 6,400 x 4,400
MWM15413	1,610 x 1,410 x L350 x 1本	スラリ	5,500 x 9,000 x 5,480