ワイヤソー ND660

大口径ワーク向け ダイヤモンドワイヤ専用機

Φ660mmまでの大口径ワークの加工に対応し、液晶用石英基盤や半導体ターゲット基盤業界で活躍中

 
  • ダイヤモンドワイヤ採用
  • ウェーハ厚さを変更可能
  • ランニングコストの削減

主な特徴・仕様

ダイヤモンドワイヤ特化機

  • ダイヤモンドワイヤでの固定砥粒加工方式を採用することで高速加工が可能。ワイヤ走行速度の高速化も相まって生産性が向上します。
  • 細線化によってカーフロスを削減。材料歩留まりが向上します。
  • スラリ(遊離砥粒)を使用しないので廃液処理が不要になり、環境に優しく処理コストを削減します。

切断厚さを変更可能

  • オプションでワイヤスキップ機構を付属でき、切断厚さが最大80mmまで対応が可能です。

ランニングコストの削減

  • テンション制御とワイヤ経路の最適化によりガイドローラの数を削減することでワイヤ使用量の削減と断線リスクが低減します。
    
最大ワーク寸法 Φ600×L500×1本
ワイヤ走行方式 一方向 / 双方向 切替式
最大ワイヤー速度 1,300 m/min
テンション範囲 35 ~ 120N
ワイヤー貯線量 Φ0.35mm × 5.5km
切断送り速度 0.1 ~ 3.0 mm/min
使用電源 480V ± 10%
消費電力 115 kVA
使用圧縮空気 600NL / min, 0.4MPa以上
搭載NC FANUC
機械サイズ (W×L×H) 2,400×4,700×3,400 mm
機械質量 22,000 kg

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