ワイヤソー MWM3050nQ

> 製品一覧

 

高品質を生み出す 安定した高精度加工を実現

高い品質が求められる半導体基板業界において優れた実績を誇る12インチウェーハ向けワイヤソー

 
  • 高剛性の追求
  • 熱制御機構を搭載

主な特徴・仕様

高剛性・高真直性の追求

  • FEM解析を用いたマシン剛性の向上によって加工負荷によるマシン変形量を低減し、安定加工を可能にしています。
  • 高負荷に耐えるリニアガイドを採用し、微小うねりを排除した高い真直性を実現しています。

熱制御機構を搭載

  • 主軸ユニットやメインローラに温度センサと冷却機構を搭載。加工中の主軸温度を任意に制御することで加工精度に影響を与えるマシンの熱変位を抑制し、加工形状の安定化が可能です。
　　　　
最大ワーク寸法 Φ300×L450×1本
ワイヤ走行方式 一方向 / 双方向 切替式
最大ワイヤー速度 1,000 m/min
テンション範囲 15 ～ 34N
ワイヤー貯線量 Φ0.14mm × 500km
切断送り速度 0.01 ～ 2.50 mm/min
使用電源 200V ± 10%
消費電力 115 kVA
使用圧縮空気 600NL / min, 0.4MPa以上
搭載NC FANUC
機械サイズ (W×L×H) 2,000×3,550×3,500 mm
機械質量 14,700 kg
製品に関するお問い合わせ
各種サービス&サポートの情報はこちら

製品・ソリューションを探す

テクノロジー

真の技術は哲学の結晶。企業発展の原動力は叡智。
このふたつが牽引する「リーディングサプライヤーの感性」をベースに、私たちはこれからもグローバルなステージの最前線を着実に歩んでまいります。
コマツNTCの保有技術
Top 製品・ソリューション 半導体・各素材向け ウェーハ製造装置
ワイヤソー MWM3050nQ