线锯 MWM3050nQ

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稳定的高精度加工，生产出高质量的产品

在对质量要求极高的半导体衬底行业
用于 12 英寸晶片的线锯，具有出色的性能记录

 
  • 追求高刚性
  • 热控制机制

主要功能和规格

追求高刚性和高直线度

  • 通过 FEM 分析提高了机床的刚性，从而减少了由加工负荷引起的机床变形，实现了稳定的加工。
  • 直线导轨可承受高负荷，并通过消除微小波纹实现高直线度。

热控制机构

  • 主轴单元和主滚轮配备有温度传感器和冷却机构。 通过在加工过程中任意控制主轴温度，可抑制影响加工精度的机床热位移，稳定加工形状。
　　　　
最大工件尺寸 Φ300×L450×1本
走线方式 单向/双向可切换
最大放线速度 1,000 m/min
张力范围 15 ～ 34N
储线量 Φ0.14mm × 500km
切割进给速度 0.01 ～ 2.50 mm/min
电源 200V ± 10%
耗电量 115 kVA
压缩空气 600NL / min, 0.4MPa以上
配备NC FANUC
机器尺寸 (宽 x 长 x 高) 2,000×3,550×3,500 mm
机器重量 14,700 kg
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