线切割机MWM3050nQ

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实现稳定高精度加工，打造卓越品质

在要求严苛的半导体基板行业中，我们的12英寸晶圆线切割机以出色表现赢得了广泛认可。

 
  • 追求高刚性
  • 搭载温度控制机构

主要功能和规格

追求高刚性与高直线度

  • 通过FEM分析提升机器刚性，减少加工负荷导致的机器变形，实现稳定加工。
  • 采用高负载线性导轨，消除微小翘曲，实现高直线度。

温度控制机构

  • 主轴单元和主辊配备温度传感器和冷却机构 通过任意控制加工中的主轴温度，抑制影响加工精度的设备热变形，实现稳定的加工形状。
　　　　
最大工件尺寸 Φ300×L450×1个
走线方式 单向/双向可切换
最大放线速度 1,000 m/min
张力范围 15 ～ 34N
储线量 Φ0.14mm × 500km
切割进给速度 0.01 ～ 2.50 mm/min
电源 200V ± 10%
耗电量 115 kVA
压缩空气 600NL / min, 0.4MPa以上
NC系统 FANUC
机器尺寸 (宽 x 长 x 高) 2,000×3,550×3,500 mm
机器重量 14,700 kg
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