ウェーハ検査装置

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省人化と定量評価を実現する 全自動ウェーハ検査装置

 

  • 検査工程の集約化
  • 優れた検査能力
  • NTC製ソフトウェア搭載
  • ユーザビリティの向上

主な特徴・仕様

検査工程の集約化

  • 自動搬送と画像処理の組合せにより、1台でウェーハ検査項目の多くをカバー。マシン台数の削減と省スペース化を実現します。
  • 寸法測定、欠け・ピンホール・異物等の欠点検出、うねりや板厚測定など多項目の検査が可能。

NTC製ソフトウェア搭載

  • 独自開発のソフトウェアで並列画像処理を実用化し、画像検査の高速処理を実現。20項目検査で20秒/枚での払い出しを実現。
  • CPUの稼働負荷を低減。発熱を抑えハードの劣化を防止すると共に、省電力化でランニングコスト低減に寄与。

優れた検査能力

  • 検査を妨げる模様や付着物を特殊な光学系で効果的に排除し、欠陥のみを確実に検出可能。
  • 検査不可能領域とされていたウェーハ外縁部の検査を実現。
  • レーザセンサ採用でウェーハ厚やソーマークのほか、オプション装備で抵抗率の計測やPN判断にも対応可能。

ユーザビリティの向上

  • 検査準備はカセットローダーにワークをセットするだけ。スタートボタンを押せば全自動搬送で検査が開始され、OK,NGワークが選別され払い出されます。
  • OK,NGの判定、NG種別、各種測定データは操作画面にてリアルタイムで確認可能。
  • 画像や詳細データはいつでも取り出し可能。トレーサビリティの確立で歩留まりの向上をサポートします。
*1 検査項目により機械サイズは表記と異なる場合があります。
*2 記載が無い検査項目についてもオーダーメイドで対応可能です。
機械サイズ (W×L×H) *1 3,600×1,200×1,900 mm
最大ワーク寸法 Φ300 mm
検査項目 *2 外径・コーナー寸法、欠け・チッピング、表裏綿汚れ、貫通・非貫通クラック、ピンホール、異物、板厚、うねり・反り、ソーマーク、抵抗率・PN判定、ライフタイム 等
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