ワイヤソー

ワイヤソー

最先端の半導体ウェーハ製造装置&太陽電池ウェーハ製造装置

高品質・高精度を誇る半導体製造装置

培われてきた基盤事業のメカトロ技術・ノウハウを駆使し、コマツNTCは技術革新著しいワイヤソー市場へ、常に安定した高品質・高精度をもたらす装置を供給します。

世界シェアNo.1を誇る太陽電池製造装置

近年、新エネルギー源の一つとして注目を浴びている太陽電池市場に、多くの太陽電池製造装置を送りだしてきました。さらに、伸び続ける太陽電池市場へ高生産技術と薄板加工技術で提案していきます。

新たなマーケットへの挑戦

世界で初めてシリコンウェーハをマルチワイヤソーで生産を可能にしたマルチウェーハメーカー MWMシリーズ。それ以来、今日では、このシリーズで、石英や水晶等のあらゆる基盤素材が加工可能となって、液晶業界などへ送り出されています。また、ダイヤモンドワイヤーでの基盤加工に挑戦しており、サファイアや磁性材料を始めとする硬度材料の加工が可能となっております。さらに、お客様のご要望に応じた加工装置を提案していきます。

半導体ウェーハ製造装置&太陽電池ウェーハ製造装置ラインナップ

Kiraller MWM442DM

MWM442DM(キラーレ)

半導体、太陽電池を始めφ6"以下の小口径サイズ向けに作られたMWM442DM。コンパクトな設計により、操作性の良さが評価されたベストセラー機として評されています。

最大ワーク寸法 □156×L300×2本
Kiraller SP300Di

SP300Di(キラーレ)

サファイア、SiC、セラミックスなどの小口径硬度材料向けダイヤモンドワイヤー加工機として作られたSP300Diです。高速、高精度を追求した装置として提供しています。
携帯電話用サファイアにも対応しています。

最大ワーク寸法 φ6"×L300×1本
Kiraller MWM3050nQ

MWM3050nQ(キラーレ)

φ8"以上の半導体向けウェーハを安定した加工精度で生み出すことを追求したMWM3050nQ。世界初のNC加工プログラム制御の搭載により、多彩できめ細やかな加工が可能となります。

最大ワーク寸法 φ12"×L450×1本
Kiraller MWM650SQ & MWM11411

MWM650SQ & MWM1000SQ(キラーレ)

液晶マスク基板である石英加工向けに作られたこのシリーズ。コマツNTC独自の技術で、1m四方にも及ぶ大口径のウェーハ加工を可能にします。また、MWM650SQでは、ターゲット材の加工にも用いられています。

最大ワーク寸法 MWM650SQ:□650×L400×1本
MWM1000SQ:□1100×L350×1本
Sun Friends PV1000H

PV1000H(サンフレンズ)

太陽電池用ウェーハ加工機として世界的に好評価が得られているPV1000H。きめ細かな設計により、操作性を向上、加工時間の短縮と高歩留まりを実現させます。さらに、ダイヤモンドワイヤーによる加工も可能としています。

最大ワーク寸法 PV1000H:□156×L1000×1本
Sun Friends PV600DT

PV600DT(サンフレンズ)

太陽電池用ウェーハ向け高性能ダイヤモンドワイヤー加工機として作られたPV600DT。
従来より加工時間の短縮と高歩留まりを実現させます。

最大ワーク寸法 PV600DT:□156×L700×1本
Miraller SWI-160C

SWI-160C(ミラーレ)

ウェーハの形状測定及び表面・内部の欠陥を全て検査できます。
特に多結晶ウェーハの検査に優れた能力を発揮します。
セル工程での製品歩留りの向上につながる微細クラックを検出します。

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