太陽電池用シリコンウェーハ検査装置

システム特徴

• スライスされた多結晶・単結晶ウェーハの外観検査を行う装置です。
• 1秒/枚にてウェーハの全数検査が可能となりトレーサビリティの確立や後工程での歩留まり向上を実現できます。
• 外形寸法の他、汚れ、欠け、チッピング、ピンホール、非貫通、貫通クラックなどの画像欠陥検査を行っています。
• レーザセンサによるウェーハ厚、ソーマークなどの他、抵抗率の計測やPN判断なども対応できます。
• 照明方法や独自のアルゴリズムを開発することで通常の可視光検査では不可能なクラックや汚れなども検出します。
• これまで、非検査領域とされていたウェーハ外縁部の検査も実現。
• パソコンによる並列画像処理を実用化しました。